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行業(yè)資訊

蝕刻液蝕刻工序的主要參數(shù)簡介!

蝕刻液的種類多種多樣,用途也是非常廣泛,而對于不同用途、不同類型的蝕刻液,其工藝參數(shù)表也有差別,今天小琪就和大家介紹一下酸性、堿性蝕刻液以及三種硫酸微蝕蝕刻液體系的主要參數(shù)!

 

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堿性:

主要工藝參數(shù)

控制范圍

作用

溫度

50±2

蝕掉非線路底銅

速度

2.0~5.0m/min

壓力

3.0±0.8 bar(上)

1.5±0.5 bar(下)

酸性:

主要工藝參數(shù)

控制范圍

作用

溫度

50±2

蝕掉非線路底銅

速度

2.0~5.0m/min

壓力

3.0±0.8 bar(上)

1.5±0.5 bar(下)

雙氧水/硫酸體系:

主要工藝參數(shù)

控制范圍

作用

Cu2+

30g/L

除去銅表面上氧化層 和形成的微觀粗化,增強后續(xù)工序結(jié)合力

H2SO4

3%~5%

H2O2

30~60g/L

過硫酸鈉/硫酸體系:

主要工藝參數(shù)

控制范圍

作用

Cu2+

20g/L

除去銅表面上氧化層 和形成的微觀粗化,增強后續(xù)工序結(jié)合力

H2SO4

3%~5%

SPS

50~70g/L

過硫酸銨/硫酸體系:

主要工藝參數(shù)

控制范圍

作用

Cu2+

20g/L

除去銅表面上氧化層 和形成的微觀粗化,增強后續(xù)工序結(jié)合力

H2SO4

3%~5%

APS

50~70g/L

 

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